СПРАВОЧНИК МОЛОДОГО РАДИСТА


Классификация интегральных схем - часть 2


Современный групповой технологический цикл позволяет обра­батывать одновременно десятки полупроводниковых пластин, каж­дая из которых содержит сотни ПМС с сотнями элементов в кристал­ле, связанных в заданные электронные цепи. При такой технологии обеспечивается высокая идентичность электрических характеристик микросхем.

Пленочными интегральными (или просто пленочными схемами ПС) называют ИС, все элементы и межэлементные соединения кото­рой выполнены только в виде пленок. Интегральные схемы подраз­деляют, на тонко- и толстопленочные. Эти схемы могут иметь коли­чественное и качественное различие. К тонкопленочным условно от­носят ИС с толщиной пленок до 1 мкм, а к толстопленочным — ИС с толщиной пленок выше 1 мкм. Качественное различие определяется технологией изготовления пленок. Элементы тонкопленочной ИС наносят на подложку с помощью термовакуумного осаждения и катод­ного распыления. Элементы толстопленочных ИС изготовляют преи­мущественно методом шелкографии с последующим вжиганием.

Гибридные интегральные микросхемы (ГИС) представляют со­бой сочетание навесных активных радиоэлементов (микротранзисто­ров, диодов) и пленочных пассивных элементов и их соединений. Обычно ГИС содержат: изоляционные основания из стекла или. ке-, рамики, на поверхности которых сформированы пленочные проводни­ки, резисторы, конденсаторы небольшой емкости; навесные бескор­пусные активные элементы (диоды, транзисторы); навесные пассив­ные элементы в миниатюрном исполнении (дроссели, трансформато­ры, конденсаторы большой емкости), которые не могут быть выпол­нены в виде пленок. Такую изготовленную ГИС герметизируют в пластмассовом или металлическом корпусе.

Резисторы сопротивлением от тысячных долей ома до десятков килоомов в ГИС изготовляют в виде тонкой пленки нихрома или тантала. Пленки наносят на изоляционную основу (подложку) и под­вергают термическому отжигу. Для получения резисторов с сопро­тивлением в десятки мегаомов используют металлодиэлектрическив смеси (хрома, монооксида кремния и др.).


Начало  Назад  Вперед